廈門太星機電有限公司
經營模式:商業服務
地址:廈門市集美區東安前占里19號之二
主營:真空泵,螺桿真空泵,水環真空泵,真空泵機組
業務熱線:0592-6800154
iGX100M半導體真空泵維修-廈門太星機電供應服務
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廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
集中供氣系統采用二級減壓保證壓力的穩定,采用二級減壓的方式,一是,經過一級減壓后,干路壓力比氣瓶壓力大大降低,起到了緩沖管道壓力的作用,提高了用氣的安全,降低了應用的風險,二是保證儀器供氣入口壓力的穩定,降低了因為氣體壓力波動而引起的測量誤差,保證了儀器使用的穩定性。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。。
高純氣體分類:
高純氣體根據氣體性質不同一般分為:惰性氣體、氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據供應包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。
高純氣體系統及輸送流程:
高純氣體輸送系統是指:將特種氣體從氣源端、根據工藝設備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數的控制,通過管道、無二次污染、穩定的輸送到工藝設備的用氣點。
其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點
氣體儲運要求
保證氣體在存儲、運輸、使用過程中不會被二次污染,對氣瓶內部、內壁表面的處理涉及多項工藝,均依賴于長期的行業探索和研發;此外,對于某些具有高毒性或危險性的氣體,需要使用負壓氣瓶儲運,以減少危險氣體泄露風險。
廈門太星機電有限公司生產真空泵、銷售、維修等,氣體管道工程設計、施工、安裝、檢漏等專注致力于超高純工藝氣體介質輸送、控制系統集成,以及實驗室搭建和無塵潔凈室建設工程總包服務商。主要旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵、渦旋真空泵、水環真空泵、活塞泵、隔膜泵等銷售及維修,干冰機及干冰清洗、3D打印服務。
對于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了控制流量,在氣源端一般會考慮配置高的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計,壓力調節閥。對于高反應性和自燃氣體,應使用雙套管輸送。同時管道的設計要采用零死區設計,即整個管道系統從氣柜到VMB、從VMB到用氣點,要點對點,中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此,整個管路系統中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。管道還要有良好的接地。